Grazie a decenni di esperienza nelle materie prime, abbiamo sviluppato competenze tecnologicamente avanzate nel nostro Centro di Eccellenza per le aziende del settore dei semiconduttori.
Nuovi materiali e tecnologie a gas corrosivi
In linea con l'International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), il nostro centro di ricerca di San Marcos (USA) ha da lungo tempo sviluppato prodotti, tecnologie e soluzioni applicative per il settore dei semiconduttori. Tra le più recenti innovazioni possiamo citare l'esafluoruro di tungsteno ultrapuro (WF6) e nuovi precursori dei processi high-k ALD.
Gas rari e alogeni
Sviluppando la litografia a ultravioletti profondi (DUV), il nostro impianto di Alpha (USA) è stato fra i primi a valutare e applicare miscele di gas alogeni a elevata purezza per laser a eccimeri a 248 nm e 193 nm. Ulteriori aree di competenza comprendono il riciclo di xeno e di gas e prodotti chimici arricchiti isotopicamente.
Tecnologie al fluoro per la pulizia delle camere
La nostra struttura di Inju (Corea) ha sviluppato l'ultima versione di generatori di fluoro modulari a basso costo. Questa tecnologia a emissioni zero assume un'importanza crescente poiché il settore deve soddisfare requisiti ambientali sempre più rigidi.
Siamo inoltre coinvolti in programmi di sviluppo comune con i principali clienti, OEM, enti accademici e consorzi del settore.
Spettro completo
Offriamo una gamma completa di gas a supporto di tutti i processi di produzione dei semiconduttori:
- Gas liquefatti ultrapuri
- Generatori di gas in loco
Gas speciali per il settore elettronico, in bombole e liquefatti
Gas Liquefatti per componenti elettronici | Gas speciali per il settore elettronico |
Azoto | Gas fonti di silicio |
Idrogeno | Aumento di nitruro/ossido |
Argon | Drogante e impianti |
Ossigeno | Etching metalli e dielettrico |
AUECC, una società del gruppo Linde, è specializzata nella produzione e distribuzione di prodotti chimici ultrapuri in forma liquida per il settore globale dei microcomponenti elettronici. Ulteriori informazioni.
Esperienza in sistemi e servizi
Inoltre mettiamo a disposizione un'ampia gamma di servizi professionali che consentono ai clienti di concentrarsi sull'attività principale e mantenere competitiva l'azienda. Tra questi annoveriamo servizi di progettazione e installazione chiavi in mano per la gestione end-to-end dei sistemi di gas quali:
Sistemi di stoccaggio e distribuzione dei gas liquefatti
Sistemi di gas speciali liquefatti (BSGS)
Armadi gas e collettori di distribuzione
Gestione generale dei gas e dei prodotti chimici.