Offriamo un'ampia gamma di tecnologie a valore aggiunto per aiutare i clienti ad affrontare le sfide specifiche in termini di costi e ambiente.
Generazione di fluoro On-site
Linde è l'azienda che per prima ha utilizzato il fluoro molecolare (F2) per sostituire gas con elevato potenziale di riscaldamento globale quali il trifluoruro di azoto (NF3) e l'esafluoruro di zolfo (SF6). Attualmente questi gas vengono utilizzati per pulire le camere di deposizione chimica a vapore (CVD) nella produzione di schermi piatti. I nostri generatori di fluoro in loco Generation-F® erogano il gas per pulizia più efficace, riducendo il tempo di pulizia di oltre il 50% e il tempo di inattività dello strumento oltre a migliorare il throughput della linea del 10%.
Generazione di azoto
I nostri generatori di azoto ECOVAR-SPECTRA-N™ rappresentano il metodo più conveniente e affidabile per fornire azoto ultrapuro nelle grandi quantità necessarie per i produttori di TFT-LCD. Con livelli di impurità del gas inferiori a 1 ppb, ECOVAR-SPECTRA-N consuma meno energia rispetto ai generatori tradizionali e offre anche eccellenti capacità di ridurre il carico termico per soddisfare i requisiti di crescita della struttura.
Spettro completo
Offriamo una gamma completa di gas e prodotti chimici per supportare tutti i processi di produzione degli schermi piatti TFT-LCD:
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Gas liquefatti ultrapuri
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Generatori di gas On-site
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Gas speciali per il settore elettronico, in bombole e liquefatti
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Prodotti chimici di processo speciali e in forma liquida.
Materiali per la produzione di TFT-LCD
| Gas sfusi | Gas speciali per il settore elettronico |
| Azoto | Silano |
| Idrogeno | Trifluoruro di azoto |
| Elio | Fluoro (generazione in loco) |
| Ossigeno | Esafluoruro di zolfo |
| Argon | Ammoniaca |
| Anidride carbonica | |
| Miscele di fosfina |
I requisiti specifici variano in base al processo e alla regione di produzione.
Esperienza in sistemi e servizi
Inoltre mettiamo a disposizione un'ampia gamma di servizi professionali che consentono ai clienti di concentrarsi sull'attività principale e mantenere competitiva l'azienda. Tra questi annoveriamo servizi di progettazione e installazione chiavi in mano per la gestione end-to-end dei sistemi di gas quali:
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Sistemi di stoccaggio e distribuzione dei gas liquefatti
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Sistemi di gas speciali liquefatti (BSGS)
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Armadi gas e collettori di distribuzione
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Gestione generale dei gas e dei prodotti chimici.